Бесконтактный измеритель толщины

Используется для бесконтактного измерения толщины измеряемых объектов, включая проводники, полупроводники и изоляторы

Модель прибора

CL-5610 / 5610S

Описание

Серия CL-5610 Бесконтактный измеритель толщины

Электростатического емкостного типа

CL-5610 / 5610S используется для бесконтактного измерения толщины измеряемых объектов, включая проводники, полупроводники и изоляторы, в сочетании с недавно разработанным детектором зазора емкостного типа серии VE. К CL-5610 / 5610S можно подключить до 2 детекторов зазора, а также использовать в качестве 2-канального измерителя смещения.

CL-5610 имеет встроенный усилитель для датчика и может использоваться для прямого подключения к датчику VE. Эта модель эффективна для автономных измерений на настольном ПК. (Длина кабеля между датчиком и основным блоком составляет 1,5 м, и не может быть увеличена.)

CL-5610S можно использовать вдали от датчика VE через внешний усилитель. Длина кабеля между основным блоком и внешним усилителем стандартно составляет 2,5 м, в качестве опции - удлинитель до 10 м. Это удобно, когда основной блок толщиномера настраивается отдельно от датчика, например, для установки на другое оборудование.

Функции

• Широкий выбор элементов измерения

Могут быть выполнены измерения как толщины, так и зазора. Для каждого элемента измерения можно выбрать DEVI (значение отклонения), MAX (максимальное значение), MIN (минимальное значение) или диапазон (MAX-MIN от времени начала расчета).

• Выполняет измерение толщины проводников, полупроводников и изоляторов (опция) с помощью одного устройства.

Если установлена дополнительная функция измерения изолятора CL-0300, то CL-5610/5610S позволяет измерять изоляторы, такие как тонкая пластиковая пленка или стеклянный лист.

* Композиционные материалы не поддаются измерению.

* Некоторые материалы невозможно измерить из-за их относительной диэлектрической проницаемости.

• Обеспечивает стабильное измерение толщины объекта с меньшей площадью контакта

При измерении объекта на столе, покрытом пленкой фтора, для стабильного измерения требуется большая площадь контакта. Режим высокоомного заземления CL-0210 (опция) позволяет измерять объект с небольшой площадью контакта, даже если площадь контакта меньше, чем у стола. Чем больше площадь контакта, тем более стабильное измерение может быть выполнено.

Функция измерения с высоким разрешением (опция CL-0200) позволяет отображать минимальное разрешение 0,02 мкм *1.

* 1: При использовании VE-2011/5010/5011. VE-5010/5011 доступен, когда диапазон измерения изменяется с 20 на 200 с помощью дополнительного CL-0201.

• Сохранение до 6 калибровочных данных для датчиков.

Серия CL-5610 может хранить до 6 калибровочных данных для датчиков. Это упрощает выбор подходящего датчика в зависимости от диапазона измерения и разрешения.

• Управление или передача данных может осуществляться удаленно с ПЛК* или ПК.

Разъемы RS-232C и BCD (опция) предоставляются как внешние интерфейсы. Управление или передача данных могут выполняться удаленно, если серия CL-5610 встроена в производственный объект. Данные измерений в формате BCD могут быть получены с выходного разъема BCD каждые 20 мс. Также дополнительная функция выходов CL-0110 позволяет выводить измеренное значение с аналоговым напряжением.

* ПЛК: программируемый логический контроллер

Онлайн-мониторинг аномального значения может выполняться функцией компаратора. (Если установлена функция выходов CL-0100.)

Измеряемые объекты	Проводники или полупроводники	Изоляторы
Измеряемые объекты	Силиконовая плата, стальная пластина, подложка из медной фольги, жесткий диск, алюминиевая нержавеющая сталь, электронная печатная монтажная плата, гибкий материал, зеркальный материал, легко повреждаемый материал и любые другие материалы, которые необходимо очистить, включая металлическую пластину.	Стекло, полиэтилен, полипропилен и другой пластик (можно измерить тонкие предметы, состоящие из однородного и простого материала).

Пожалуйста, свяжитесь с нами или отправьте нам электронное письмо по поводу измерения промежуточного материала, составного материала или других материалов.

Метод измерения

Измерение проводников либо полупроводников

Измерение изоляторов
(Функция измерения изолятора CL-0300)

Примечание. Предполагается, что корпус датчика и объект измерения имеют одинаковый потенциал.

Два датчика устанавливаются параллельно, между ними образуется зазор (Gs) (предварительно откалиброванный), после чего значение зазора устанавливается в счетчике. Целевой объект измерения устанавливается между датчиками A и B, и измеряется величина зазора для каждого датчика (Ga / Gb). Затем толщина (t) целевого объекта измерения может быть измерена путем вычитания значения зазора из настройки счетчика.

Примечание. Предполагается, что корпус датчика и противоположный проводник (эталонная область) имеют одинаковый потенциал.

Укажите расстояние (Gs) между датчиком и проводником (эталонная область) для серии CL-5610. Когда целевой объект измерения вставляется между датчиком и проводником (эталонная область), выходной сигнал датчика становится Ga. Толщина (t) получается из величины изменения выходного сигнала датчика и относительной диэлектрической проницаемости εr.

εr: Диэлектрическая проницаемость.

(Когда диэлектрическая проницаемость вакуума равна 1, диэлектрическая проницаемость целевого объекта измерения называется относительной диэлектрической проницаемостью.)

Примеры измерений
Измерение толщины проводника/полупроводника

Измерение толщины изолятора (когда установлена опция CL-0300)

Обзор технических характеристик

Объекты измерения

Проводники, полупроводники, изоляторы^*1

Вход датчика

2-канальный (A, B) детектор зазора емкостного типа

Параметры измерения

• Толщина измеряемого объекта (проводник, полупроводник, изолятор <опция: CL-0300>)

• Зазор A между датчиком A и измеряемым объектом (проводники, полупроводники)

• Зазор B между датчиком B и измеряемым объектом (проводники, полупроводники)

• Разница между A и B (A-B)

Режим отображения

• ABS: отображение абсолютных значений толщины или зазора.

• DEVI: отображение разницы между измеренным значением и установленным контрольным значением измерения.

• Отображение максимального (MAX), минимального (MIN), максимального - минимального (RANGE) значений с начала расчета.

Применяемый датчик / разрешение экрана

Разрешение дисплея при использовании в сочетании с новыми детекторами зазора типа электростатической емкости серии VE следующее.

Датчик	Диапазон измерения (мкм)	Разрешение экрана (мкм)
		Стандарт	Если установлена дополнительная функция измерения высокого разрешения CL-0200.
VE-2011	20 … 200	0.1	0.02
VE-5010	50 … 500 20 … 200^＊¹	0.1	0.05/0.02^＊¹
VE-5011
VE-1020	100 … 1000	0.1	0.1
VE-1021
VE-1520	150 … 1500	0.5	0.2
VE-3020	300 … 3000	1	0.5
VE-8020	800 … 8000	2	1
VE-8021

* 1: Диапазон измерения VE-5010/5011 может быть указан от 20 до 200 мкм, путем установки CL-0201 (опция). Разрешение дисплея составляет 0,02 мкм, если установлена опция измерения с высоким разрешением.

Точность

±0.15 %/F.S.(стандарт)
±0.12 %/F.S. (Если установлена дополнительная функция измерения высокого разрешения CL-0200. <кроме VE-8020/8021>)

Температурный режим гарантированной точности

от +23 до ±2 °C

Дисплей

Флуоресцентный дисплей
Отображение результатов измерений может быть выбрано из одного из двух видов (одинарный, 1 строчный ) или (Двойной, 2-строчный).

Установка параметров

Параметр, необходимый для измерения / расчета, может быть установлен во внутренней памяти каждой кнопкой на панели. Эти установленные значения хранятся и выводятся во время перезапуска.

Время выборки

20 мс

Усреднение

Подвижное среднее: от 1 до 64 раз

Интерфейс

RS-232C: Удаленный контроль главного блока и передача измеряемых данных. Измеренные данные можно напечатать на принтере DPU-414 (продается отдельно)

Функция вывода BCD (опция: CL-0120)

Выводит любой результат измерения в формате BCD с 6-значным параллельным выводом.

Метод вывода: открытый коллектор

Выходные данные: отображаемое значение можно выбрать из GAP-A, GAP-B, THICK, A-B и DISP2.

Время обновления данных: 20 мс

Соединительный кабель: AA-8207 (3 м, верхний конец открыт)

Удаленная функция

Дистанционное управление расчетом остановки / запуска, калибровка толщины извне.

■ Удаленные терминалы Назначение контактов и входные / выходные сигналы
A	Источник питания	5 … 24 В постоянного тока При питании от внешнего источника напряжения 6 В постоянного тока или выше нужно вставлять резистор.
B	START	Та же функция, что и у кнопки СТАРТ
C	STOP	Выключение режима расчета
D	PAUSE	Та же функция, что и у кнопки пауза.
E	CALIB	Калибровка по данным зарегистрированного эталонного образца объекта измерения. · Доступно только при измерении проводника. · Толщина эталонной части измеряемого объекта не может быть изменена
F	START STATUS	Активируется в режиме расчета и в режиме ожидания расчета.
G	COMMON	Подключается при 0 В
H	+5В выход	Выходы при +5V (MAX:0.4 A)

*Подходящий разъем: R03-PB8M (TAJIMI ELECTRONICS CO., LTD)

Функция SYNC

Несколько устройств CL-5610 / 5610S могут работать в синхронизированном режиме.

Требования к мощности

От 100 до 240 В переменного тока, 50/60 Гц

Условия работы (только для основного устройства)

Температура:+23…±2 °C (с гарантированным диапазоном точности), 0…+40°C (рабочий диапазон)

Влажность: 20…80% R.H. (с отсутствием конденсации)

Внешние параметры

210×99×276 мм (Ш×В×Г) (основной блок CL-5610/5610S)
42.4×56×120 мм (Ш×В×Г) (Преобразователь для CL-5610S)

Вес

Прибл. 4.5 кг (главный блок CL-5610/5610S)
Прибл. 0.6 кг × 2 (Преобразователь для CL-5610S)

Опции

Функция выходов CL-0110 (аналоговый выход, выход компаратора)

Аналоговый выход

Количество клемм: 3 (ДАТЧИК A, ДАТЧИК B, A-OUT)

●ДАТЧИК А, ДАТЧИК В

Элементы вывода: выводит значение зазора ДАТЧИКА A или ДАТЧИКА B.
Выходное напряжение: 5 В / F.S. (С функцией смещения [от -5 до 0 В])
Точность выхода:±0.25 %/F.S.(Точность гарантируется для одного датчика A или B).
Частота ответа: постоянный ток до 4 кГц

●A-OUT
Элементы вывода: Выбираются из THICK, GAP A, GAP B или A-B
Выходящее напряжение: -5…0… +5 В
Точность выхода: ±0.25 %/F.S
Время обновления выхода: 20 мс

Функция компаратора

Количество выходов: 3 (COMP1, COMP2, COMP3)
Способ выхода: Открытый выходной коллектор
Установка значений: Верхний предел или нижний предел
Режим: Персональный режим или Общий режим
●Персональный режим: Использование компаратора 1/2/3 независимо

Контактный выход компаратора замыкается, если условие “Настройки верхнего лимита (UPPER) < измеряемого значения” или “Настройки нижнего лимита (LOWER) > Значение измерения удовлетворено.

●Общий режим: Использование компаратора 1/2/3 для оценки UPPER/OK/LOWER.

CL-0120 Функция выхода BCD

Типы вывода	6-значный параллельный, BCD, выход с открытым коллектором
Значения выхода	Выбирается из THICK, GAP-A, GAP-B. A-B, или DISP 2
Время обновления данных	20 мс
Подходящий кабель	AA-8207 (3 м, верхний конец открытый)

Функция измерения высокого разрешения CL-0200
Функция измерения высокого разрешения CL-0200 улучшает разрешение и линейность серии VE.

CL-0210 Режим заземления с высоким сопротивлением
Измерение может выполняться стабильно в условиях большого сопротивления заземления.

Функция измерения изолятора CL-0300
Когда установлена дополнительная функция измерения изолятора CL-0300, CL-5610 / 5610S позволяет измерять изоляторы.

CL-015 Стол-подставка для пластин (поставляется под заказ)

CL-015 - это столик с ручным перемещением, который можно использовать вместе с детекторами зазора CL-5610 / 5610S и VE-1520 для бесконтактного измерения толщины полупроводников или проводников, таких как кремниевые пластины. На поверхности стола предусмотрены канавки для облегчения использования пинцета для вакуумной адсорбции.

Совместимый размер пластины:

диаметр от 100 до 150 мм

толщина от 0,1 до 1 мм

Примечание: другие специальные столы для пластин 200 и 300 мм также могут быть изготовлены на заказ.

CL-0201 Опция для изменения диапазона измерения VE-5010/5011
Диапазон измерения VE-5010/5011 может быть изменен с 20 до 200 мкм с помощью опционального CL-0201.

Сигнальные кабели (продаются отдельно)

VL-1520 (прямой --- прямой)
VL-1521 (под углом --- прямой)

GS-серия

Цифровой линейный датчик

Измерительные датчики линейных смещений серии GS

Подробнее

BS-серия

Цифровой линейный датчик

Цифровой измерительный минидатчик линейных смещений

Подробнее

GS-7000 серия

Цифровой линейный датчик

Цифровой датчик линейного смещения GS-7710A / GS-7710NA

Подробнее

Шум и вибрация

Вращение и скорость

Расход и давление

Размеры и смещение

Обработка данных

Меню